基于电化学腐蚀法的钨探针制备装置研究

来源：计量学报杂志2018年第3期北京时间：

作者：徐靖涛,高思田,黄鹭,李琪,李东升,汪雅丽

单位：中国计量大学计量测试工程学院, 浙江杭州 310018

摘要：基于电化学腐蚀法制备钨探针的原理,设计了一套钨探针制备装置,并对钨探针制备参数进行了研究。装置的实验部分用于调整探针与电解槽的相对位置和运动参数,控制部分用于监测、控制并记录电化学反应的状态。与传统腐蚀探针相比,该装置通过控制电路控制探针腐蚀过程中运动参数,获得了形状可控的大长径比探针;同时通过精确控制腐蚀反应时间,可制备针尖曲率半径范围为5~20 nm的探针。

关键词：计量学; 钨探针; 电化学腐蚀; 长径比; 曲率半径

基金资助：国家重点研发计划（2016YFF0200602, 2016YFF0200404）