基于真空环境的位移传感器校准系统精度研究

来源：计量学报杂志2018年第6A期北京时间：

作者：叶颖谦,任国营,李伟仙,范乃胤,朱呈吉,董一凡

单位：北京信息科技大学,北京100192

摘要：介绍了基于真空环境下位移传感器静态校准系统原理及其精度验证。传统的位移传感器校准装置和方法都在大气环境下进行,影响因素较多,测量精度也不易提高。该装置通过刚性传动装置,使真空中的位移与空气中的位移保持一致,由位移传感器测得空气中的位移值,由单频激光干涉仪通过迈克尔逊光学系统测得真空中的位移,两者之差,即是传感器的示值误差。最后,按照JJF 1305—2011的校准要求,对被测传感器进行了精度校准。

关键词：计量学;真空;位移传感器;校准;精度

基金资助：国家重点研发计划(2018YFF0212702); 北京信息科技大学2018年度实培计划项目