毫米波功率计量标准器芯片的研制

来源：计量学报杂志2019年第2期北京时间：

作者：钟青,袁文泽,史艳平,王雪深,周哲海,李劲劲

单位：中国计量科学研究院, 北京 100029

摘要：针对毫米波WR-6波段功率标准器核心芯片需求,设计了芯片整体结构,研究了结构中各层的微加工工艺,制备了温度传感用Pt薄膜,在250 ℃退火后,100 nm Pt薄膜的电阻温度系数(TCR)达到2.4×10-3/K,相对稳定度为2.4×10-6。安装在毫米波功率标准器上的芯片对110～170 GHz的反射率低于-23 dB。直流功率灵敏度为0.83 mΩ/mW。

关键词：计量学; 功率计量; 毫米波; 功率基准; 薄膜电阻

基金资助：中国计量科学研究院基本科研业务费重点领域项目(AKYZD1801-2);北京信息科技大学2017-2018年度“实培计划“