试样倾斜对熔融石英硅三棱锥纳米压痕测试的影响
来源：计量学报杂志2019年第2期北京时间：
作者：朱光宇,董翔宇,高诚辉,刘明
单位：福州大学 机械工程及自动化学院, 福建 福州 350116
摘要：使用三棱锥压头对不同倾斜角下的熔融石英硅进行纳米压痕实验。结果表明,试样倾斜会影响加载曲线的形状。在相同的载荷下,随着试样倾斜角的增加,压痕最大深度、残余深度及接触深度逐渐减小,但卸载曲线不受影响,彼此保持平行,卸载曲线的拟合参数m及接触刚度值保持恒定。另外,试样倾斜将导致测量的压痕接触面积偏小,从而使得测量的硬度和弹性模量偏大。
关键词：计量学; 纳米压痕; 试样倾斜; 熔融石英; 三棱锥压头
基金资助：国家自然科学基金(51705082, 51875106)
