平面度计量——点线面之间的量值传递与控制

来源：计量学报杂志2019年第2期北京时间：

作者：王青,顾洋

单位：南京理工大学, 江苏 南京 210094

摘要：研究了平面度计量中的线和面两种传递路径。针对通过等厚干涉仪的面传递中不能维持平面度指标的原始定义,必须采用光圈(N、ΔN)等指标来描述的问题,在讨论测量点的绝对检验方法的基础上,提出了解决直线和面域上不同的平面度指标体系的统一的方法。分析了《JJG 28—2000 平晶》中以点控线和以线控面过程中的假设和附加要求对于传递精度的影响问题,提出了基于相移干涉仪高分辨率和快速测量的优势,采用圆平晶以最大变化正交截面替代国标中随机的“任意“正交截面的方法,从而保证对平晶平面度计量的严谨性要求。

关键词：计量学; 平面度; 量值传递; 相移干涉仪; 特征截面

基金资助：国家重大仪器专项开发(2013YQ150829)