扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法

来源：计量学报杂志2019年第4期北京时间：

作者：刘俭,谷康,李梦周,由小玉,刘辰光,王宇航,谭久彬

单位：哈尔滨工业大学 现代显微仪器研究所,黑龙江 哈尔滨 150001

摘要：扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术。然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失。为了避免深度测量的精度损失,分别建立了机械探针和光学探针的两个分析模型,描述了不准确轮廓、样品深度和探针形状之间的耦合关系;在此基础上,提出了一种具有良好精度的深度测量标定方法。与现有的国际深度测量标准(W/3规则)进行比较,该方法提供了一个明确的边界来确定测量结果是否有效;此外,它还可以指导用户在执行测量之前选择适当的探针。

关键词：计量学;深度测量; 微纳结构; 扫描探针显微镜

基金资助：国家自然科学基金(51775148); 装备预研领域基金(6140923020102); 黑龙江省杰出青年科学家基金(JC2017013)