线面式电容传感器结构设计与传感特性研究
来源：计量学报杂志2019年第6期北京时间：
作者：曾涛,鲁云峰,张钟华,陈乐,许素安
单位：中国计量大学 机电工程学院,浙江杭州310018
摘要：提出了一种基于自阻尼垂向测量参考的线面式电容传感器,对垂向运动中的残留水平位移进行精确测量。线面式电容传感器利用细丝电极作为直接垂向测量参考,消除了间接参考在其转换过程包含的系统误差;同时采用细丝末端的液体阻尼器保证细丝电极的稳定性。实验表明:在0.38~0.4pF范围内,线面式电容传感器的分辨力优于0.05μm,短期稳定性约为0.1μm。
关键词：计量学;线面式电容传感器; 传感特性; 运动方向检测;垂向参考
