基于正交双轴激光干涉仪的二维光栅校准系统误差分析
来源：计量学报杂志2019年第6A期北京时间：
作者：董欣媛, 孙双花, 崔京远, 沈雪萍, 段发阶, 汪书辉
单位：天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津 300072
摘要：为了提高二维光栅系统的校准精度,建立了国家二维光栅校准标准装置并开展了试验研究。基于双轴正交激光干涉仪的二维光栅校准方法,建立了共平面运动结构的二维光栅校准试验装置,开发了基于C#的上位机自动控制测量程序实现自动校准;分析装置运动过程中几何误差对二维光栅校准结果的影响,提出角误差修正的黑箱模型,并使用MATLAB对安装平面作最小二乘拟合。
关键词：计量学,二维光栅,双轴激光干涉仪,最小二乘平面拟合
基金资助：国家重点研发计划项目（2017YFF0204803）
