光谱共焦传感器校准方法对比分析

来源：计量学报杂志2019年第6A期北京时间：

作者：闫勇刚, 刘志浩, 朱小平, 杜华, 李加福

单位：河南理工大学, 河南 焦作 454150

摘要：主要对光谱共焦传感器的校准时的误差进行研究。分别利用激光干涉仪与高精度测长机对光谱共焦传感器进行测量,用球面测头保证光谱共焦传感器的光路位于测头中心,以保证光谱共焦传感器的在测量时的安装精度,然后更换平面侧头,对光谱共焦传感器进行校准。用最小二乘法对测量数据进行处理,得到测量数据的非线性误差。结果表明:高精度测长机校准时的非线性误差为0.030%,激光干涉仪校准时的分析线性误差为0.038%。利用最小二乘法进行数据处理及非线性误差的计算,减小校准时产生的同轴度误差及光谱共焦传感器的系统误差,提高对光谱共焦传感器的校准精度。

关键词：计量学,光谱共焦,非接触测量,误差分析,校准

基金资助：河南省高校基本科研业务费专项资金(NSFRF180332)