一种薄膜材料电阻率测试用环形电极设计
来源：计量学报杂志2020年第3期北京时间：
作者：国北辰,陈少华,王书强,蔡建臻,孙超,王伟
单位：北京东方计量测试研究所, 北京 100086
摘要：针对航天器用高电阻率薄膜材料的电阻率测试问题进行了研究。通过对现有高阻值电阻率测试环形电极设计方法进行仿真理论分析,结合数学模型推导,提出了一种环形电极有效测试宽度及尺寸设计取值方法,并制成薄膜材料测试用环形电极装置。通过实验实现了航天器用薄膜材料表面电阻率和体电阻率测量,相对示值误差可控制在9%范围内;该装置可应用于体积电阻率在105~1018Ω·cm的航天器用复合材料电阻率的测试。
关键词：计量学;电阻率测试;薄膜材料;环形电极
