毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置多自由度激光干涉计量系统

来源：计量学报杂志2020年第7期北京时间：

作者：施玉书,张树,连笑怡,李伟,李琪,黄鹭,高思田

单位：中国计量科学研究院,北京 100029

摘要：准确的纳米几何结构测量是提高集成电路、微纳机电系统和微纳技术产品的质量和性能的关键技术支撑,为了得到准确一致的测量结果,必须实现纳米尺度的量值溯源并建立量值的传递体系。为满足纳米几何结构计量从纳米尺度到毫米尺度的跨尺度计量需求,实验室研制了毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置,集成于该装置中的多自由度激光干涉计量系统,实现了测量结果向米定义SI单位的直接溯源。实验结果表明该系统能够在毫米级的测量范围内,实现纳米级的测量准确度,分辨力达到了亚纳米量级。

关键词：计量学;纳米几何特征尺寸;多自由度激光干涉系统;激光干涉仪修正;计量标准装置

基金资助：国家重点研发计划(2018YFF0212302,2016YFF0200602);中国计量科学研究院基本科研业务费项目(31-AKY1605)