基于部分补偿干涉的非球面顶点曲率半径加工误差测量

来源：计量学报杂志2020年第8期北京时间：

作者：胡摇,李腾飞,郝群,常旭

单位：北京理工大学 光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京 100081

摘要：测量非球面顶点曲率半径加工误差对预估成像系统质量和计算机辅助装校有重要意义。传统的部分补偿干涉系统只能测量非球面面形误差,即被测非球面与标称非球面之间的不规则偏差。通过分析系统剩余波前特定像差项随被测面位置的变化关系,基于部分补偿干涉原理,提出了一种非球面顶点曲率半径加工误差测量方法,测得非球面顶点曲率半径加工误差。仿真实验结果表明,所提出的误差测量方法具有可行性,其原理相对测量精度不低于0.003%。

关键词：计量学;顶点曲率半径;非球面;干涉测量; 加工误差

基金资助：国家自然科学基金(51735002)