测量系统分析在粗糙度测量中的应用
来源：计量学报杂志2020年第12A期北京时间：
作者：黄彩清,罗金刚
单位：深圳赛意法微电子有限公司,广东 深圳 518038
摘要：为了正确合理地将测量系统分析运用到实际工作中以确保数据的有效性,结合实际产品需求,选用表面粗糙度作为实际测量参数,从分辨力,偏倚,线性,稳定性以及重复性和再现性等几个方面,全面阐述了测量系统分析在粗糙度测量工作中的实际应用以及常见误区。该应用方法对测量系统分析在其他各个测量领域的广泛和正确应用提供参考和指导。
关键词：计量学;测量系统分析;粗糙度;分辨力;偏倚;线性;稳定性
