用于微位移测量的迈克尔逊激光干涉仪综述

来源：计量学报杂志2021年第1期北京时间：

作者：王冬,崔建军,张福民,闵帅博,陈恺

单位：天津大学 精密仪器与光电子工程学院,天津 300072

摘要：迈克尔逊干涉术测量微位移可实现纳米甚至更高的分辨力,并且具备能直接溯源至激光波长等诸多优点,是目前微位移测量的重要技术手段。以限制迈克尔逊干涉仪品质提高的非线性误差为主要切入点,对目前各种基于迈克尔逊干涉原理的激光干涉技术进行了分类介绍,主要讨论了微位移测量中实现高精度和高分辨率的干涉测量技术,最后展望了激光干涉法测量微位移的近期发展趋势。

关键词：计量学;微位移测量;迈克尔逊激光干涉仪;激光干涉技术;干涉仪非线性

基金资助：国家自然科学基金(51675497);北京市自然科学基金(3162034);国家重点研发计划专项(2017YFF0206305)