基于单稳频激光的端面距离微尺寸测量方法

来源：计量学报杂志2021年第2期北京时间：

作者：刘育彰,高宏堂,程银宝,王中宇

单位：北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院, 北京 100191

摘要：搭建了一种用于端面距离微尺寸测量的干涉光路,分别以频率高度稳定的532nm波长激光和波长不确定度水平相对较差的633nm波长激光作为光源进行照射以获取干涉图样。使用电荷耦合器件(CCD)传感器获取干涉图样,采用数字图像处理手段清晰化干涉图样,并利用条纹的像素距离计算干涉条纹级次差的小数部分,用多波长的小数重合法计算端面间距。通过系统的软件部分,利用数字图像处理的手段对干涉图像的质量进行优化,在较为简单的实验条件下实现精度较高的端面距离微尺寸测量。

关键词：计量学;微尺寸测量; 单稳频激光;端面距离;干涉条纹法;小数重合法;图像处理

基金资助：国家质检总局能力提升项目(24-ANL1804);工信部民机专项科研项目(MJZ-2018-J-70);四川省科技计划项目(2019YFSY0039)