气体动态稀释装置的可靠性评价

来源：计量学报杂志2021年第7期北京时间：

作者：吴雨彤,毕哲,杨扬仲夫,马浩淼,吴海

单位：中国计量科学研究院,北京 100029

摘要：基于质量流量控制器(MFC)搭建了一套稀释装置,并通过高精度甲烷光谱仪验证了该装置的可靠性。试验结果表明,稀释比为0.01～0.02时,理论稀释浓度的相对误差不超过±4%;稀释比为0.04～0.1时,理论稀释浓度的相对误差在±0.5%以内。因此,稀释比很小时稀释装置的准确性欠佳。MFC上游输入气体压力变化对其输出气体流量存在影响,当输入压力在0.2～0.6MPa范围内变化时,MFC输出气体流量变化极差不超过1%,由此导致稀释装置输出的标准气体浓度的变化不超过1%。使用稀释装置制备标准气体时,优先设定MFC在满量程10%以上的范围内工作,以保证稀释装置的可靠性。

关键词：计量学;气体稀释装置;标准气体;稀释比;不确定度

基金资助：国家自然科学基金(41727805);质量技术监督能力提升专项(ANL1811)