宽频带电磁式角振动校准系统研究进展

来源：计量学报杂志2021年第10期北京时间：

作者：唐波,何闻,刘爱东

单位：1. 浙江大学 浙江省先进制造技术重点实验室, 浙江 杭州 310027; 2. 中国计量大学 计量测试工程学院, 浙江 杭州 310018;

摘要：在分析激光干涉测量法基础上,阐述了Ａ类和Ｂ类激光干涉角振动测量的系统组成、测量原理、数据处理和测量范围,特别指出角振动台性能直接影响角振动校准结果。在此基础上,分析了角振动台国内外研究现状,指出各种类型的性能参数、应用范围和局限性。建立了宽频带角振动台的机电耦合方程,对其所涉及的高扭振频率运动部件设计技术、强而均匀气隙磁场磁路结构设计技术及可调电粘弹性支撑装置设计技术等关键技术进行了深入分析,并给出了相应的研究思路和建议。

关键词：计量学; 角振动传感器; 角振动台; 激光干涉仪; 校准装置

基金资助：国家重点研发计划(2019YFC1509503);国家自然科学基金(11872061);浙江省自然科学基金(LY21E050017);国家市场监督管理总局科技计划(2019MK103,2020MK189)