拉曼光谱仪成像定位精度检测方法
来源：计量学报杂志2021年第10期北京时间：
作者：定翔,付彦哲,李飞,刘文丽
单位：中国计量科学研究院,北京 100029
摘要：激光共焦拉曼光谱仪通常采用逐点扫描的方式进行成像,若三维移动平台定位不准确,图像就会产生畸变,导致图像与样品不能匹配。针对这一问题提出了一种简便的拉曼成像定位精度检测方法,并基于费米函数拟合方法寻找边界来提高测量精度。通过在硅基底上镀一层70nm厚金属铬图形的方法制作了检测模体,利用商业化仪器进行了实验验证,仪器的定位重复性为0.2μm。结果表明:该方法可以用于检测拉曼光谱仪的成像定位精度,具有简便和稳定的特点。
关键词：计量学;定位精度;拉曼光谱;拉曼成像;检测模体
基金资助：国家重点研发计划NQI专项(2016YFF0201005)
