基于反向共轴的大口径平面光学元件面形测量

来源：计量学报杂志2021年第12期北京时间：

作者：赵彦龙,李加福,朱小平,杜华,陈爱军,胡佳成

单位：中国计量大学,浙江 杭州 310018

摘要：提出了一种基于反向共轴的大口径平面光学元件面形测量方法。将双位移传感器反向共轴线扫描测量模式和多角度旋转三面互检技术结合,借助直线长导轨有效扩大平面光学元件测量口径,同时测量过程中不需要使用标准平晶,避免引入标准平晶参考面不确定度分量,测量结果直接溯源到激光波长基准。利用该测量方法对3块400mm口径光学平晶进行面形测量,验证了该测量方法的可行性。

关键词：计量学;面形测量;光学元件; 大口径平面;反向共轴;双位移传感器; 三面互检

基金资助：国家市场监督管理总局质量技术基础能力建设专项(ANL1822);重大科学仪器设备开发重点专项(24-YQKFB1803-1)