基于光腔衰荡光谱法的水汽线形强度测量

来源：计量学报杂志2022年第2期北京时间：

作者：马路遥,马若梦,徐鸿,冯晓娟,张金涛,林鸿

单位：1. 中国计量大学计量测试工程学院,浙江 杭州 310018; 2. 中国计量科学研究院热 工计量科学研究所,北京 100029; 3. 郑州计量先进技术研究院,河南 郑州 450001;

摘要：随着半导体芯片行业的迅速发展,对电子气体的要求也逐渐提高。半导体加工环境中的痕量水分会严重影响芯片的良率和可靠性。光腔衰荡光谱法是近年来发展的一种具有高灵敏度和准确性的痕量气体测量方法,线形强度是光谱法测量的重要参数。为测量痕量水分,建立了一套光腔衰荡光谱系统,测量了中心频率在 7171.10491cm-1和7177.6565cm-1的吸收光谱,通过HTP(Hartmann-Tran profile)线形拟合得到线形强度,测量结果的相对标准不确定度优于1.8%,与HITRAN、HITEMP和GEISA数据库比较,相对偏差小于6%。

关键词：计量学;光腔衰荡光谱;痕量水分;电子气体;线形强度

基金资助：国家自然科学基金(51976206)