微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿

来源：计量学报杂志2022年第4期北京时间：

作者：李瑞君,李洁,何亚雄,程真英,黄强先

单位：合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院 测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽 合肥 230009

摘要：垂直度误差是微纳米三坐标测量机的重要误差源之一,必须对其进行高精度测量并建立垂直度误差的补偿模型。采用基于光电位置敏感器件(PSD)的测量装置,先将三轴垂直度误差转化成相应方向的直线度误差再对其进行测量,并对微纳米三坐标测量机的垂直度误差进行建模和补偿。通过对0级标准量块厚度进行测量和垂直度误差补偿,量块X、Y方向厚度测量误差分别减小了11μm和4μm,验证了垂直度误差测量方法和补偿模型的有效性。

关键词：计量学;微纳米三坐标测量机;垂直度误差;建模补偿

基金资助：国家重点研发计划项目(2019YFB2004900)