用于芯片电容精确测量的在片开路方法研究

来源：计量学报杂志2022年第5期北京时间：

作者：李灏,乔玉娥,丁晨,丁立强,刘霞美,吴爱华

单位：中国电子科技集团公司 第十三研究所,河北石家庄050051

摘要：为实现芯片电容参数测量过程中的有效开路,提高在片电容测量的准确性及一致性,针对在片电容开路方法开展了研究工作。通过对标准电容器及开路器原理结构进行分析,结合半导体芯片工艺测试实际需求,设计并制作了在片开路器。在完成在片电容测试系统搭建基础上,分别利用传统悬空开路法和在片开路法对1pF量值的在片电容进行了测量。实验数据显示,同悬空开路法相比,在片开路法电容测量结果的准确性及一致性有显著提升,测量重复性可达0.01%,为芯片电容计量测试工作提供了有效开路手段。

关键词：计量学;片上电容测量;开路器;标准电容;芯片测试