计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究

来源：计量学报杂志2022年第5期北京时间：

作者：黎雄威,李琪,纪峰,李适,李伟,黄鹭,施玉书,皮磊

单位：合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥230009

摘要：为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角,光轴俯仰角偏差＜0.05°,偏摆角偏差＜0.09°;校准后,对标称值为102.10nm的Si上SiO2膜厚标准片进行测量,示值误差＜0.4nm,提升了计量型激光椭偏仪测量校准服务的准确性。

关键词：计量学;计量型激光椭偏仪;椭偏测量;初始入射角;校准;微纳米薄膜

基金资助：国家质量基础的共性技术研究与应用(2017YFF0204705)