X射线衍射法测量电容传声器的膜片张力

来源：计量学报杂志2022年第12期北京时间：

作者：李旭,何龙标,祝海江,张小丽,冯秀娟,牛锋

单位：1. 中国计量科学研究院, 北京 100029; 2. 北京化工大学,北京 100029;

摘要：为满足电容传声器膜片张力的直接测量需求,利用X射线衍射法对处于不同张力大小的电容传声器膜片进行测量,并与静电激励谐振法的张力计算值进行比较。结果表明,两者呈现相同的趋势并具有较好的一致性。通过传声器频率响应计算得到的谐振频率包含了电容传声器膜片后空腔等结构部件的影响,其测量值略高于膜片自由振动的谐振频率,因此X射线衍射法的测量结果略低于根据谐振频率计算的张力值。最后通过系列试验进一步验证了膜片张力对电容传声器电声特性的影响。

关键词：计量学; 电容传声器; 膜片; 应力; X射线衍射; 频率响应