用于扫描电子显微镜校准的10μm格栅样板

来源：计量学报杂志2022年第12期北京时间：

作者：张晓东,赵琳,李锁印,韩志国,许晓青,吴爱华

单位：中国电子科技集团公司 第十三研究所,河北 石家庄 050051

摘要：扫描电子显微镜是半导体领域用于关键尺寸测量的重要仪器。为了保证仪器量值的准确和一致,需要对扫描电子显微镜进行校准。首先,针对校准规范中提到的正交畸变和线性失真度参数,采用半导体工艺,研制了一种标称值为10μm的格栅样板。其次,为了准确评价格栅特征的一致性,研究了一种矩形检测算法。测量过程中,使用该算法对样板的格栅特征进行测量,并把使用原子力显微镜获取的测量数据作为参考值。实验结果显示:矩形检测算法能够快速检测出格栅特征,测试数据稳定在6nm以内。此外,研制的格栅样板一致性好,一致性参数控制在0.2以内,能够应用于扫描电子显微镜的校准。

关键词：计量学; 格栅样板; 扫描电子显微镜; 矩形检测算法; 原子力显微镜; 校准