互易压电加速度计校准技术研究

来源：计量学报杂志2023年第7期北京时间：

作者：吕思耀,蔡晨光,孔明,杨明,刘志华,吕琦

单位：中国计量大学 计量测试工程学院,浙江 杭州 310018

摘要：介绍一种针对内部带有驱动部件的压电加速度计的校准方法,基于互易法的校准原理,通过2次试验测量2个端口灵敏度的比值和乘积,实现互易压电加速度计的校准。通过建立互易压电加速度计的振动方程及力学模型,分析了灵敏度比值、灵敏度乘积和自校准系数的频率响应特性,并说明了对应的校准方法。与激光干涉法进行了对比验证实验,实验结果表明:在频率范围5~4000Hz,2个端口灵敏度的平均相对偏差分别不超过1%和2%,最大相对偏差分别不超过2%和4%。

关键词：计量学; 振动校准; 压电加速度计; 互易法; 电激励

基金资助：国家重点研发计划(2017YFF0205003)