双臂非共程点光源非定域干涉小角度测量方法

来源：计量学报杂志2023年第8期北京时间：

作者：张宝武,崔建军,欧阳烨锋,陈恺,方振远

单位：中国计量大学 计量测试工程学院,浙江杭州310018

摘要：为了提高小角度测量的精度,提出了一种双臂非共程点光源非定域干涉小角度测量方法。通过建立小角度测量的理论模型,搭建测角系统,并采用大靶面无镜头小像素的CCD记录干涉同心圆环。其原理为利用暗环和亮环兼顾的多圆环回归拟合系列圆环圆心定位方法实现圆心侧移量的高精度测量,完成与激光干涉小角度测量仪进行比较测量实验。结果显示,所提方法在3h之内,x方向上的稳定性波动幅度最大为-2.46″,y方向上的稳定性波动幅度最大值为-1.92″;测角重复性在±0.50″内最大偏差为-0.45″,与激光干涉小角度测量仪具有较好的一致性。

关键词：计量学;小角度测量;非定域干涉;同心圆环;双臂非共程

基金资助：国家市场监督管理总局科技计划 (2022MK220,2021MK188);浙江自然科学基金(LY22E050005)