基于激光干涉与电容传感复合校准技术的纳米微动台分辨力评价方法研究

来源：计量学报杂志2023年第8期北京时间：

作者：阎晗,张树,皮磊,马英瀚,胡佳成,施玉书

单位：中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018

摘要：激光干涉仪测量纳米级分辨力时,因环境等因素的干扰测量具有局限性,电容传感器可较好地对抗这种干扰,但存在无溯源性、非线性误差的缺点。为实现纳米级分辨力的量值溯源,保障量值准确性,采用激光干涉仪对电容传感器进行校准,从而形成纳米微动台-电容传感器-激光干涉仪的完成溯源链。通过量值溯源实验可知,在10nm步进下电容传感器与激光干涉仪测量量值最大偏差为0.8nm;电容传感器分辨力校准实验中,纳米位移台分辨力为2nm。上述结果说明此校准方法具有一定的可行性和实用性。

关键词：计量学;分辨力校准;激光干涉仪;电容传感器; 纳米微动台

基金资助：国家重点研发计划(2021YFF0700403);国家市场监督管理总局质量技术基础能力建设专项(ANL2003)