电感型光学超导转变边沿探测器件光学谐振腔设计

来源：计量学报杂志2023年第8期北京时间：

作者：王振宇,钟青,曾九孙,李劲劲,徐骁龙,王雪深

单位：中国计量大学 计量测试工程学院, 浙江 杭州 310018

摘要：为提高电感型光学超导转变边沿探测器件的探测效率,针对波长633nm的光子,厚度15nm的铌(Nb)膜光子吸收层,设计了一种基于Al全反射层、SiO2和SiNx减反层的谐振腔结构。通过仿真,选取低反射率参数分布区间,利用终点探测曲线作为谐振腔性能的判断依据,通过磁控溅射工艺和化学气相沉积工艺制备了谐振腔,并使用分光光度计测试了反射率,结果表明:制备的谐振腔可将633nm光波反射率降低至0.9%,并对506~690nm宽波段光也有良好的减反效果(反射率＜1%)。

关键词：计量学;超导转变边沿; 超导Nb膜; 反射率; 光学谐振腔;化学气相沉积;磁控溅射

基金资助：国家自然科学基金(61901432)