基于非本征F-P干涉技术的全光纤位移测量系统

来源：计量学报杂志2023年第12期北京时间：

作者：马英瀚,张树,皮磊,阎晗,胡佳成,施玉书

单位：中国计量大学计量测试工程学院,浙江 杭州 310018

摘要：为解决传统分离镜组式干涉仪体积较大,无法在空间受限的环境条件下应用的问题,开展了全光纤F-P干涉位移测量技术研究。根据干涉原理分析了不同反射率条件对干涉信号形式的影响,计算得出:当反射率为4%时,多光束干涉的光强信号将近似为正弦函数,并利用有限元仿真对位移测量原理进行验证。设计搭建了基于非本征F-P干涉技术的全光纤位移测量系统。实验结果表明:该系统在1min内静态噪声电压标准差为23.3mV;在1mm位移范围内,该系统与XL-80激光干涉仪的测量结果呈现高度线性关系,线性相关系数R2为1,且该系统位移测量重复性优于XL-80激光干涉仪。

关键词：计量学;位移测量;光纤传感; F-P干涉技术;激光干涉仪;有限元仿真

基金资助：国家重点研发计划 (2021YFF0700403)