基于激光热成像的薄膜面向导热系数测试方法

来源：计量学报杂志2024年第1期北京时间：

作者：陈明鑫,侯德鑫,叶树亮

单位：中国计量大学 工业与商贸计量技术研究所,浙江 杭州 310018

摘要：提出一种基于激光热成像的薄膜面向导热系数测试方法。仿真论证了激光加热相较于常规电加热方案的热损失差异;分析了激光加热功率、表面换热系数、测温模型增益系数等关键参数标定问题,并设计了相应的方案。基于15个不同材料或厚度的薄膜和薄片样品进行了实验,测试结果和参考值相对偏差均<6%,其中导热系数 <3W/(m·K) 的样品测试误差显著优于常规方法,这表明该方法可有效改善热流环路积分法对低导热薄膜的测试精度。

关键词：热物性测量;导热系数; 薄膜; 热流环路积分;激光热成像

基金资助：国家自然科学基金(22127802)