基于空间光调制器的激光光束宽度调节装置

来源：计量学报杂志2024年第2期北京时间：

作者：糜宸坤,杨朝辉,刘宏欣,王飞

单位：苏州市计量测试院,江苏苏州215000

摘要：为了满足激光产业对光束宽度测量装置的溯源要求,提升激光光束宽度校准能力,针对400~700nm波段的激光器不同光束宽度校准的需求,设计了一套基于空间光调制器的激光光束宽度可调节装置,用于光束质量分析仪或激光光斑测量仪的校准。实验结果表明该装置在0.1~5.0mm的宽度范围连续可调;利用部分相干光束抗环境扰动能力强的特点,其短期稳定性达99.5%,长期稳定性达99.1%,优于参考激光器96.8%的短期稳定性和96.3%的长期稳定性。此外,基于空间光调制器优越的光束整形能力,该装置可将输入的非规则光束输出为高斯光束。

关键词：光学计量; 激光束宽度; 空间光调制器; 连续可调; 光束整形; 部分相干光束; 稳定性

基金资助：国家重点研发计划(2022YFF0705500)