基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿研究

来源：计量学报杂志2024年第12期北京时间：

作者：郑鹏,陈锃琰,唐之晨,阮育娇,王若宇,赵岩,刘暾东

单位：厦门市计量检定测试院,福建厦门361004

摘要：半导体晶圆校准器旋转轴的回转误差补偿是提高晶圆校准器定位精度的关键技术,为此提出一种基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿方法,可有效避免在装置中引入多传感器等辅助设备带来的新误差和多次标定问题。该方法采用集合平均和小波阈值去噪的双重滤波法降低采集信号的随机噪声,通过数理统计误差分离法精确分离高信噪比测量信号中混入的圆度误差;同时根据多步法计算准确的回转误差,利用得到的误差数据对传感器检测的晶圆圆周数据进行修正实现补偿。实验结果表明:晶圆校准器定位的校准偏差在0.02mm左右,提高了校准精度,验证了方法的有效性。

关键词：几何量计量;晶圆校准器;误差补偿;回转误差;数理统计法;集合平均;小波阈值去噪

基金资助：2022年度国家市场监督管理总局科技计划(2022MK138)