基于一维干涉测量的六自由度并联机器人精度补偿方法

来源：计量学报杂志2025年第6期北京时间：

作者：高磊, 任子啸, 刘志华, 王春蔓, 孔明, 蔡晨光

摘要：精度补偿能够在不增加制造成本的前提下提升六自由度并联机器人运动精度。然而，传统的精度补偿方法依赖多维坐标/位姿测量系统，测量精度有限，难以实现高精度补偿。为了提高并联机器人的精度，提出了一种基于一维干涉测量的高精度补偿方法，通过提高测量精度提升精度补偿能力。建立了六自由度并联机器人的相对误差模型，利用一维激光干涉仪测量终端平台的相对距离，构建误差损失函数，通过结合优化算法实现降维误差补偿。实验结果表明：所提方法可将六自由度并联机器人的位置均方根误差从19.74 μm降低至3.82 μm，精度提升了约80.65%。

关键词：几何量计量,并联机器人,精度补偿,一维测量,优化算法

基金资助：国家自然科学基金(52075512)