薄膜热扩散率测量技术研究进展

来源：计量学报杂志2026年第1期北京时间：

作者：韩艺良, 张圣梓, 刘晓萌, 郝蕴琦, 杨坤, 汪洪军

摘要：薄膜由于其独特的物理、化学和机械性能，在现代高新技术产业的发展中扮演着至关重要的角色，因此对其热物理性质的精确表征变得越来越重要。热扩散率指材料在温度梯度下温度趋于一致的能力，反映了物体在非稳态条件下的热量传递过程，准确测量薄膜的热扩散率对于材料科学和工程应用具有重要意义。与体材料不同，薄膜的热扩散率测量难度较大，对于测量技术的要求更为苛刻，这需要开发新的方法或改进现有的技术。薄膜的热扩散率测量技术主要以光声光热效应为主，根据近些年来测量薄膜热扩散率的方法，对薄膜面内和垂直平面2个方向的测量技术进行了综述，为今后薄膜测量技术的研究开发提供参考。

关键词：热学计量,热扩散率,薄膜面内,垂直平面,光声效应,光热效应,瞬态热流,周期热流

基金资助：国家重点研发计划(2022YFF0610804)