67 GHz微波探针散射参数校准及不确定度评定方法研究

来源：计量学报杂志2026年第2期北京时间：

作者：霍晔, 王一帮, 刘晨, 吴爱华, 栾鹏, 王浩, 张立飞

摘要：提出了一种67 GHz微波探针散射参数校准及不确定度评定的方法。建立了微波探针测量模型，通过在片开路校准件、短路校准件、负载校准件散射参数的测量值和定义值，计算得到微波探针散射参数校准值。分析了不确定度来源，用蒙特卡洛方法评定了测量不确定度。进行了试验分析，在100 MHz ~ 67 GHz频段范围内，S 11和S 22校准值优于-15 dB，S 21校准值优于-1 dB，均符合说明书技术指标，验证了方法的正确性。该方法为微波探针是否满足测试要求提供量化依据。

关键词：无线电计量,微波探针,在片散射参数,校准,不确定度

基金资助：河北省军民融合科技创新项目(SJMYF202413)