六自由度运动原位测量机构的降维任务空间插值精度补偿方法

来源：计量学报杂志2026年第4期北京时间：

作者：张思琪, 刘志华, 任子啸, 高磊, 凃程旭, 包福兵, 蔡晨光

摘要：为了将六自由度（6-DOF）运动测量结果溯源至高精度一维激光干涉测量，提出一种基于非运动学校准的降维任务空间插值精度补偿方法。利用高精度一维激光干涉仪测量各自由度的线性与角度误差，获取任务空间内多个离散点的位姿残差数据，构建模糊推理系统（FIS）对任务空间中任意位姿残差进行预测与补偿。实验结果表明：所提方法能够将六自由度位置和姿态测量均方根误差e RMS分别降至1 μm和10 μrad，测量精度分别提升了77.98%和86.34%。

关键词：几何量计量,原位测量机构,空间插值,降维,六自由度运动,模糊推理系统,精度补偿,非运动学校准

基金资助：国家自然科学基金(52075512)