聚酰亚胺柔性基底红外隔热和保护膜的制备及性能分析

来源：吉林大学学报·理学版杂志2024年第6期北京时间：

作者：李卓霖, 杨金也, 付秀华, 张静, 董所涛, 韩阳

单位：1. 吉林省教育学院, 长春 130022； 2. 杭州麦乐克科技股份有限公司, 杭州 310018; 3. 长春理工大学 光电工程学院, 长春 130022； 4. 长春理工大学 中山研究院, 广东 中山 528437；5. 北京欧普特科技有限公司, 北京 100015

摘要：针对聚酰亚胺具有抗高温、 易弯折可贴敷、 良好的机械延展性和拉伸强度等特性, 在125 μm厚的柔性聚酰亚胺材料上制备红外隔热和保护膜. 在制备过程中, 通过对离子源的能量调控可提高柔性基底表面膜层的附着力, 根据最小二乘法原理构建薄膜材料光学常数和温度间的关系式, 以解决温度变化对薄膜光学性能的影响. 在类金刚石薄膜沉积中, 采用预热处理法以解决柔性基底变形导致膜厚均匀性较差的问题. 红外光谱检测和分析表明, 在聚酰亚胺基底上制备的红外隔热薄膜满足使用要求.

关键词：红外薄膜,聚酰亚胺,柔性基底,类金刚石薄膜,制备工艺