飞秒激光制备高红外吸收SiC表面

来源：吉林大学学报·理学版杂志2025年第6期北京时间：

作者：郭明瑞, 赵智炎, 李健, 王燕, 李爱武, 徐颖, 于颜豪

单位：1. 吉林大学 电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室, 长春 130012；2. 长春工业大学 材料科学与工程学院先进结构材料教育部重点实验室, 长春 130012

摘要：通过飞秒激光加工技术提高SiC在红外波段(尤其在10.3~12.6 μm内)的光吸收率, 以解决传统加工技术难以精细加工且吸收率低的问题. 采用飞秒激光直写技术, 通过改变激光加工的关键参数, 在SiC表面生成特定微纳结构, 并用扫描电子显微镜和Raman光谱仪对加工后的样品表面形貌和光学特性进行分析. 结果表明:通过飞秒激光加工可有效调制SiC的表面形态, 其红外吸收率显著提高, 吸收效率最高可达92%； 微纳结构可降低材料的反射率, 并增强表面声子极化激元的激发, 从而增强材料的红外光吸收能力.

关键词：超快激光,减反射,剩余射线带,Raman光谱