X射线光电子能谱仪中和枪器件的抗腐蚀改良

来源：吉林大学学报·理学版杂志2025年第6期北京时间：

作者：郭俊达, 胡长城, 于跃, 孙超, 姚烨

单位：吉林大学 物理学院, 长春 130012

摘要：针对X射线光电子能谱仪中和枪内铜制器件极易被污染并腐蚀的问题, 以Thermo Scientific NEXSA型X射线光电子能谱仪为例, 通过研究中和枪的作用机理和结构特性, 并结合扫描电子显微镜和能谱仪测试分析被腐蚀铜网表面的污染情况, 提出一种对铜网电镀惰性金属膜层的改良方法. 通过全谱扫描测试对比仪器内置铜和金标样在分析室长期测试环境下的表面污染情况, 确定镀膜材料和工艺, 并对改良后的中和枪进行性能测试. 结果表明： 铜网镀金不会影响中和枪的正常使用, 改良后的中和枪对绝缘样品仍有良好的中和效果, 并且使用寿命可提升至改良前的5倍以上, 抗腐蚀性能得到极大提高.

关键词：X射线光电子能谱仪,中和枪,铜网,镀金,抗腐蚀性能