氧化热处理对VO2薄膜红外光学相变特性的影响

来源：激光与红外杂志2015年第1期北京时间：

作者：徐凯

单位：电子工程学院,安徽 合肥 230037;红外与低温等离子体安徽省重点实验室,安徽 合肥 230037；

摘要：采用直流磁控溅射法在硅基底上制备VO2薄膜,并对薄膜氧化热处理。分别对热处理前后薄膜进行X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)透射率测试,分析了热处理对VO2薄膜晶相成分与红外透射率相变特性的影响。实验分析表明,经热处理的VO2发生非晶态向晶态转变,单斜金红石结构VO2(011)晶体具有明显择优取向,晶粒尺寸均匀度提高,且薄膜的红外透射率具有明显相变特性,相变温度为60.5℃,3~5 μm、8~12 μm波段的红外透射率对比值达到99%,适合应用于红外探测器的激光防护研究。

关键词：二氧化钒;直流磁控溅射;氧化热处理;红外特性

基金资助：脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金项目（No.SKL2013ZR03）资助