用于红外焦平面阵列的等效像元电路设计

来源：激光与红外杂志2015年第2期北京时间：

作者：戴山彪

单位：天津工业大学电子与信息工程学院,天津 300387；

摘要：提出了一种用于300×400红外焦平面阵列读出电路的等效像元电路结构。该电路与氧化钒(VOx薄膜)制成的微机械系统(MEMS)的电特性等效,并能够模拟MEMS像元改变时支路电流的变化。红外面阵探测器读出电路在流片后,生长MEMS物理结构(VOx薄膜)前,该等效像元电路结构用于读出电路的电性能测试,从而剔除不良品,减少封装成本。该电路采用了GlobalFoundry 0.35 μm工艺设计并流片。测试结果表明,当积分电流为0~200 nA时,该等效像元电路的电性能与MEMS像元一致。

关键词：红外焦平面阵列;读出电路;微机械系统;等效像元电路

基金资助：国家自然科学基金项目（No.61204008）资助