长波碲镉汞材料As掺杂激活研究
来源：激光与红外杂志2015年第2期北京时间：
作者：张舟
单位：华北光电技术研究所，北京 100015；
摘要：利用离子注入工艺实现长波碲镉汞材料的As掺杂,As作为掺杂介质表现出两性掺杂行为,而As只有占据Te位成为受主才能形成P型碲镉汞材料。通过对砷掺杂碲镉汞材料在汞气氛中进行退火,分析注入退火引起的样品电学性质的变化,对砷激活退火采用的汞压、温度及时间进行了研究,利用霍尔测试和二次离子质谱仪(SIMS)等手段分析激活效果,研究发现,高温富汞热退火可以实现碲镉汞As激活。
关键词：碲镉汞;砷掺杂;激活
