灵敏度可调的光学读出非制冷热像元设计

来源：激光与红外杂志2015年第2期北京时间：

作者：周玉修

单位：九江学院理学院,江西 九江 332005;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室,上海 200050；

摘要：设计了一种可见光反射型光学读出非制冷热像元结构。理论分析表明热像元的热-机械灵敏度达到0.043 deg·K-1,在热像元面积比已有报道减小75%的情况下,热-机械灵敏度反而提高至少79%。通过改变弯折梁底层金膜的面积来调节热像元的灵敏度,使其可在2.36×10-6rad·m2·W-1和9.21×10-6rad·m2·W-1之间变化。ANSYS仿真结果和理论结果吻合较好,验证了设计的正确性。

关键词：成像系统;非制冷红外热像元;光学读出;灵敏度;响应时间

基金资助：国家自然科学基金（No.11264021）;江西省青年科学基金（No.20132BAB216011）;九江学院科研项目（No.2013KJ16）资助