碲镉汞薄膜减薄工艺损伤层的评价方法及应用
来源：激光与红外杂志2015年第3期北京时间：
作者：许秀娟，田震
单位：华北光电技术研究所，北京 100015；
摘要：碲镉汞薄膜减薄工艺损伤层的研究至关重要。本文阐述了可用于表征碲镉汞薄膜减薄工艺损伤层的评价方法，简要介绍了各个测试方法的原理和功能；并对评价方法进行了具体应用，得到了非常有价值的实验结果。这对碲镉汞薄膜减薄工艺损伤层的认识和后续的工艺优化具有非常重要的指导意义。
关键词：碲镉汞;减薄;损伤层
《激光与红外杂志》发表论文赏析
作者：许秀娟，田震
单位：华北光电技术研究所，北京 100015；
摘要：碲镉汞薄膜减薄工艺损伤层的研究至关重要。本文阐述了可用于表征碲镉汞薄膜减薄工艺损伤层的评价方法，简要介绍了各个测试方法的原理和功能；并对评价方法进行了具体应用，得到了非常有价值的实验结果。这对碲镉汞薄膜减薄工艺损伤层的认识和后续的工艺优化具有非常重要的指导意义。
关键词：碲镉汞;减薄;损伤层
