激光高阶回馈微位移测量系统设计及误差分析
来源：激光与红外杂志2015年第5期北京时间：
作者：曾召利
单位：第四军医大学生物医学工程系数理教研室,陕西 西安 710032；
摘要：设计了一套基于激光高阶回馈效应的微位移测量系统,介绍了其工作原理,给出了系统中光学单元、机械单元和信号处理及细分单元的设计方法及关键参数。对设计完成的测量系统与PI位移台进行了比对测试,实验结果表明系统的分辨率达到0.7 nm,并对测量系统进行了误差分析。激光高阶回馈微位移测量系统不但分辨率高,而且还具有结构简单和性价比高等优点,在精密位移测量中具有广泛的应用前景。
关键词：激光高阶回馈;微位移测量;误差分析
基金资助：国家自然科学基金项目（No.61405247）资助
