《激光与红外杂志》发表论文赏析

VGF法生长半导体晶体的研究进展

来源:激光与红外杂志2015年第5期北京时间:

作者:范叶霞

单位:华北光电技术研究所,北京 100015;

摘要:VGF法可实现晶体生长条件可控,晶体重复性好,所生长晶体尺寸大、位错密度低、应力小,是一种很有前景的晶体生长方法。本文综述了VGF法生长半导体晶体、数值模拟和磁场应用的国内外研究进展。

关键词:VGF法;半导体晶体;晶体生长

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