有机聚合物光波导制作工艺综述

作者：刘涛

单位：云南师范大学太阳能研究所,教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室,云南省农村能源重点工程实验室,云南昆明 650500；

摘要：有机聚合物光波导光互连已成为实现短距离计算通信设计目标的最佳解决方法。短距离光互连是未来互连方向,综合性能优良的聚合物多模光波导是光互连中的重要组成部分。有机聚合物光波导的制作工艺对光波导的性能具有重要影响,故此对有机聚合物光波导的制作工艺进行了综述,并提出了一些未来的研发方向。

关键词：聚合物光波导;光波导制作工艺;光损耗

基金资助：国家自然科学基金资助项目(No.61167003)资助