摆臂式干涉仪光程差扫描模型及其仿真

来源：激光与红外杂志2015年第7期北京时间：

作者：谢运涛

单位：电子工程学院脉冲功率激光技术国家重点实验室,安徽 合肥 230037；中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽 合肥 230031；

摘要：为实现摆臂式干涉仪光程差(OPD)随时间的线性变化,需要摆臂式干涉仪作变速摆动。为此,在分析摆臂式干涉仪光程扫描系统组成的基础上,对干涉仪的电气特性进行了研究,在saber软件中建立了摆臂式干涉仪光程差扫描模型。为验证模型的正确性,将PID算法应用到摆臂干涉仪模型仿真中,研究了干涉仪系统的单位阶跃响应,确定了摆臂式干涉仪PID控制算法的各项参数。仿真结果表明,该模型可用于模拟摆臂式干涉仪光程差扫描过程,能够为干涉仪扫描控制系统的设计提供参考。

关键词：仿真模型;摆臂式干涉仪;PID算法;saber软件

基金资助：国家高技术研究发展计划项目（No.2013AA065502）资助