《激光与红外杂志》发表论文赏析

平面PN结InSb红外焦平面探测器的研究

来源：激光与红外杂志2015年第7期北京时间：

作者：李忠贺

单位：华北光电技术研究所,北京 100015；

摘要：研究了基于Be离子注入技术的平面型和Cd扩散技术的台面型锑化铟红外焦平面阵列(IRFPA)探测器芯片工艺流程。并进行了芯片I-V、成像结果等对比测试,Be离子注入平面型器件和扩散台面型芯片的性能水平相当,具备一定的工程应用水平。

关键词：锑化铟,离子注入,红外焦平面阵列探测器,平面结

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